電子超純水設備

電子超純水設備

電子超純水設備是保證電子產品質量安全、促進電子業(yè)健康運行的依據(jù)主要應用于電子制造業(yè)，如集成電路生產中超純水清洗硅片、半導體材料、晶元材料生產、加工等。其制備過程主要包括預處理、反滲透、初級離子交換和精制循環(huán)水系統(tǒng)等步驟。

電子超純水設備的應用

1.電子超純水設備是保證電子產品質量安全、促進電子業(yè)健康運行的依據(jù)，適用集成電路生產中超純水清洗硅片、半導體材料、晶元材料生產、加工。

2.電子超純水設備以其水質高、制水方便等優(yōu)點，廣泛應用于電力、電子、光伏、半導體等行

業(yè)。

電子超純水設備的制備過程、1.電子工業(yè)超純水設備通常由多介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統(tǒng)、ro反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(edi電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。

2.電子超純水的制備一般可分為三個階段:前級處理、反滲透、初級離子交換和精制循環(huán)水系統(tǒng)。

三、電子超純水設備的特點

1.電子超純水設備采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業(yè)超純水的方式，其基本工藝流程為:原水一多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備一混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水

點。

2.電子超純水設備是為了保證電子產品的質量安全，促進電子行業(yè)的健康運行。電子級超純水中國國家標準 (gb/t11446.1-1997)電子工業(yè)用超純水設備工藝流程一、預處理→陽床→陰床→混合

床。