半導(dǎo)體BA/EP級(jí)真空閥門-半導(dǎo)體真空蝶閥產(chǎn)品應(yīng)用

奇高BA級(jí)蝶閥是采用旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的潔凈蝶閥，密封板搭配Du特的設(shè)計(jì)，可完全隔絕粉塵，具有快速開(kāi)閉、安裝快速、尺寸小，壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。

氣動(dòng)蝶閥的密封設(shè)計(jì)，可應(yīng)用在需完全隔絶具污染及腐蝕氣體制程中。BA級(jí)蝶閥閥門安裝于各半導(dǎo)體領(lǐng)域。

半導(dǎo)體BA/EP級(jí)真空閥門-半導(dǎo)體真空蝶閥設(shè)計(jì)特征

? 旋轉(zhuǎn)氣缸驅(qū)動(dòng)或手動(dòng)，快速開(kāi)啟關(guān)閉

? Du特的氣密設(shè)計(jì)

? 密封板位置指示器

? 任意安裝方向

? 高氣導(dǎo)

? 150萬(wàn)周期壽命

Body / P late / Shaft 材質(zhì)

不銹鋼 (Stainless steel)

奇高主要服務(wù)于半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽(yáng)能、光電、真空鍍膜、其他高性能真空系統(tǒng)、科研機(jī)構(gòu)等高科技領(lǐng)域;多年來(lái)持續(xù)占有全球市場(chǎng)主要市場(chǎng)份額。奇高閥門專注于真空閥門領(lǐng)域，因其強(qiáng)大的研發(fā)創(chuàng)新和業(yè)界聞名的好品質(zhì)，半導(dǎo)體芯片設(shè)備以及太陽(yáng)能設(shè)備制造廠商都在其機(jī)臺(tái)設(shè)備中大量采用了奇高公司的產(chǎn)品。

保固條件

1.自客戶收到貨品起一年內(nèi), 或到達(dá)產(chǎn)品設(shè)定的使用次數(shù), 先到者為準(zhǔn)

2.操作環(huán)境限于空氣, 惰性氣體及真空

3.因天然災(zāi)害, 錯(cuò)誤操作造成的損壞及消耗品不在保固范圍內(nèi)